【科晶小課堂】磁控濺射儀制備50nm氧化鋅(ZnO)薄膜
發布時間:2022-09-09? ?|? ?瀏覽:1575 ??|? ?類別:技術文章
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本期科晶小課堂為您講解用磁控濺射儀制備50nm氧化鋅(ZnO)薄膜!
使用設備:VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀
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在硅片上制備50nm的氧化鋅(ZnO)薄膜
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VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀
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VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀
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